论文摘要
摩尔定律作为微电子技术领域的金科玉律，始终反映着社会信息化进程的节拍，无疑是开启信息化社会大门的一把钥匙。半个世纪来，摩尔定律从无到有，越来越著名，这与其工程基础，即微电子技术的飞速发展是密不可分的。然而，摩尔定律工程基础是如何从“低层次系统”演化为“高层次系统”的？摩尔定律工程基础演化机理又是什么呢？本文在进行大量文献梳理的基础之上，以协同学作为研究视角和方法论得出结论如下：“摩尔定律”工程基础内各要素相互影响、相互作用，经过一定时间的发展后，它们共同推动整个生产工艺的发展、并终实现系统质的飞跃。从微观方面看，单个要素的分岔发展是系统跃迁的基础。系统通过分岔现象，产生了不确定性进而产生多样性的可能。在众多分岔现象中，序参量的分岔现象为重要。序参量的多样性在临界值处接受了系统的选择，具有“适应性”的发展方向受到系统要素非线性放大作用，得以飞速发展，成为新的系统的序参量。与此同时，新的序参量指导着系统的发展方向，要求其他要素与之协同。从宏观方面看，当系统优化到一定的阶段，继续优化也无法满足系统发展的要求时，序参量开始产生分岔。新的序参量出现，意味着系统产生质变。新的序参量出现后，原有一般要素部分失效，部分与新序参量不相匹配。因此，系统中各要素都朝向更适应序参量的方向发展。系统重新回到量变阶段，即系统为配合序参量不断优化。摩尔定律工程基础的历史发展就是不断质量互变的发展过程。对摩尔定律工程基础演化机理进行研究，不仅在微观上有助于微电子研究人员与工程技术开发人员了解微电子技术本体演化的内在跃迁机制与外在制约机制的复杂性问题，对于微电子领域技术研发与科技创新具有重要启示作用，而且在宏观上，有助于我们了解信息社会的发展脉络。